本文档是荷兰光刻机公司ASML的内部硅片传输分系统的控制系统设计文档。该文档详细介绍了光刻机内部硅片传输分系统的控制原理、设计思路以及关键技术点。对于希望深入了解光刻机内部知识以及控制系统设计的读者来说，本文档具有较大的参考价值