CSECSSECS-IIHSMS源码及资料全集:C#实现SECS/SECS-II/HSMS协议，含源码、文档、示例与工具

本仓库提供了完整的C# SECS（SEMI Equipment Communications Standard）、SECS-II（SECS Message Protocol II）和HSMS（High-Speed SECS Message Services）源码及资料全集。无论你是初学者还是经验丰富的开发者，这里都有你需要的资源。采用SEMI E37的协议规格编程，帮助你轻松完成与半导体生产设备的通讯。