本项目提供了全面的GEM(Generic Equipment Model)/ SECS ( Semiconductor Equipment Communication Standard ) 模拟端程序,覆盖HOST和EQP两端功能,特别适用于E5、E30、E37协议标准的设备通讯调试与测试。无论您是在进行半导体设备开发还是需要验证SECS协议的交互逻辑,这套工具都将是非常宝贵的资源。
项目介绍
本项目提供了全面的GEM(Generic Equipment Model)/ SECS ( Semiconductor Equipment Communication Standard ) 模拟端程序,覆盖HOST和EQP两端功能,特别适用于E5、E30、E37协议标准的设备通讯调试与测试。无论您是在进行半导体设备开发还是需要验证SECS协议的交互逻辑,这套工具都将是非常宝贵的资源。
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